1 抽真空用；
因为在进行真空镀膜的时候，薄膜材料要先蒸发成为原子或分子，然后以较大的自由程作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成一层薄膜。如果镀膜室里面残余的气态分子过多，那么就会和蒸发材料的原子或分子发生频繁的碰撞，影响蒸发材料的原子或分子到达基片，形成薄膜；另外，残余气态分子过多会使得薄膜的纯净度和牢固度下降，同时使得蒸发材料容易被氧化而产生杂质。

2 真空镀膜时应该分两步抽真空，第一部抽低真空，做高压电子轰击，然后抽高真空，蒸发镀膜材质（一般是铝）。抽真空可以洁净镀膜环境还可以降低镀膜材质的蒸发温度。

3 真空泵是真空镀膜机重要的组成部分，真空镀膜是在真空状态下进行的，而达到真空状态这一过程就由真空泵来完成。根据工艺的要求，真空镀膜机所需真空度不一样，真空泵的配置也不一样：有机械泵+罗茨泵；机械泵+扩散泵；机械泵+罗茨泵+扩散泵；机械泵+罗茨泵+分子泵等。